六氟化硫 CAS#: 2551-62-4

六氟化硫是一種無(wú)色、無(wú)臭、無(wú)毒、不燃的惰性氣體，分子量為146.07，熔點(diǎn)為-51℃，沸點(diǎn)為-64℃。六氟化硫分子結(jié)構(gòu)呈八面體排布，鍵合距離小、鍵合能高，因此其穩(wěn)定性很高。電子級(jí)高純六氟化硫是一種理想的蝕刻劑，可用六氟化硫蝕刻硅表面并去除半導(dǎo)體材料上的有機(jī)或無(wú)機(jī)膜狀物，并可在光導(dǎo)纖維的制造過(guò)程中，作為摻雜劑使用。

產(chǎn)品指標(biāo)

產(chǎn)品用途：

電子級(jí)高純六氟化硫是一種理想的電子蝕刻劑，廣泛應(yīng)用于微電子技術(shù)領(lǐng)域，用作電腦芯片、液晶屏等大型集成電路制造中的等離子刻蝕及清洗劑。在光纖制備中六氟化硫用作生產(chǎn)摻氟玻璃的氟源。此外，六氟化硫還可作為絕緣氣體、示蹤劑、冷凍劑使用。        

包裝、貯存：

六氟化硫充裝在鋼質(zhì)無(wú)縫氣瓶中，鋼瓶一般容積為40L。具體包裝規(guī)格可根據(jù)用戶(hù)要求定制更改。六氟化硫儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)的庫(kù)房，遠(yuǎn)離火種、熱源，庫(kù)溫不宜超過(guò)30℃，應(yīng)與易（可）燃物、氧化劑分開(kāi)存放，切忌混儲(chǔ)，儲(chǔ)區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。