四氟化碳 CAS#: 75-73-0

四氟化碳（CF4），又稱四氟甲烷，相對(duì)分子量為88，熔點(diǎn)為-183.6℃，沸點(diǎn)為-127.8℃，是一種無色無味的不可燃?xì)怏w。常溫下，四氟化碳屬于易壓縮性氣體，揮發(fā)性較高，是最穩(wěn)定的有機(jī)化合物之一，不易溶于水。四氟化碳與可燃性氣體燃燒時(shí)，會(huì)分解產(chǎn)生有毒氟化物。四氟化碳在微電子工業(yè)等領(lǐng)域具有重要的應(yīng)用，作為蝕刻二氧化硅和氮化硅的介質(zhì)材料已成熟運(yùn)用多年，也是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體。

產(chǎn)品指標(biāo)

產(chǎn)品用途：

四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，與高純氮?dú)獾幕旌象w可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的蝕刻。此外，四氟化碳在低溫下可作為低溫流體應(yīng)用，在制冷、氣體絕緣、氟化劑、表面處理劑和激光氣體泄漏檢驗(yàn)劑領(lǐng)域中有一定的應(yīng)用空間。        

包裝、貯存：

四氟化碳充裝在鋼質(zhì)無縫氣瓶中，鋼瓶容積分別為8 L、44 L、47 L，具體包裝規(guī)格可根據(jù)用戶需求定制更改。四氟化碳儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)的不燃?xì)怏w專用庫房中，遠(yuǎn)離火種、熱源，庫溫不宜超過30℃。應(yīng)與易（可）燃物、氧化劑分開存放，切忌混儲(chǔ)。存應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。