電子專用氣體是指半導體及相關電子產品生產中使用的專用氣體，根據應用方式的不同，可分為摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、發光二極管氣體、刻蝕氣體、化學氣相沉積氣體和平衡氣體。半導體行業使用的單位專用氣體有110多種，其中常用的有30多種。

      山東重山光電材料股份有限公司目前量產四氟化鍺、二氟化氙、三氟化氯、三氟碘甲烷、三氟化氮、四氟化鍺、四氟化鈦、四氟化硅、六氟化鎢、六氟化鉬、全氟丁二烯等高純含氟電子特氣，根據成分和用途的不同，電子特種氣體大致可分為7種：摻雜氣體、外延晶體生長氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體、氣相沉積(CVD)氣體、平衡/反應氣體和摻雜配方氣體。其中一些特殊氣體用在很多環節(比如硅烷)。